顯影工程

顯影、蝕刻、剝離

1036D 鹼性顯影液自動管理裝置

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概要

透過滴定分析法測定鹼性顯影液中的有效鹼濃度及溶解光阻濃度，並輸出自動補充信號。

1036D2 鹼性顯影液自動管理裝置

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概要

此為1036D的改良升級型號，使用滴定法分析鹼性顯影液中的有效鹼濃度，並透過光度測定法分析溶解光阻濃度，輸出自動補充信號。

936EC、873EC 鹼性顯影液調配用裝置

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概要

利用電磁感應原理測定並管理溶液的濃度與導電度。此控制器能以低成本自動管理剝離液，有助於提升品質並降低成本。